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Sputtern

Sputtern (aus dem Englischen: to sputter = zerstäuben) ist eine Beschichtungstechnik und gehört zur Gruppe der PVD-Verfahren (physikalische Gasphasenabscheidung). Abtragen bzw. Abstäuben von Material von einem Feststoff durch energetisches Ionenbombardement (vorwiegend Edelgasionen), um mit dem abgestäubten Material eine Grundlage zu beschichten. Wird auch Kathodenzerstäubung genannt.

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